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真空蒸发设备由真空泵系统和真空室组成,其中真空泵系统由(超)高真空泵、低真空泵、排气管和阀门等组成。真空室配有蒸发源、晶体振荡器和掩模板等不成短缺的部件。多个用于搁置有机资料的蒸发源设置在真空室中并左右移动,用于加扰仔机资料以将其蒸发并沉积在衬底上以形成薄膜。AMOLED面板必要蒸镀十层以上的有机资料。蒸发厚度和均匀性是主题指标,必要节造在纳米级精度,直接决定了OLED面板的发光效能、显示色彩和制品率。蒸发源作为蒸发的主题部件,其机能决定了蒸发过程中薄膜的厚度和均匀性,可视为蒸发设备的“心脏”。

有机涂层蒸发源:在有机成膜过程中,若何不变节造蒸发速度,并持久维持陆续蒸发,是批量出产设备上蒸发源设计的重要问题。在出产中为了节造TactTime,蒸发源的运行方式通常选取快门节造,蒸发源始终维持在设定的加热温度。当基板移动到指定地位时,蒸发源的快门打开,形成薄膜。当陆续运行时,大量有机资料贮存在真空蒸发系统中,以维持蒸发源的运行或使用自动填充机构,并且同样的设计思考必须利用于金属电极膜形成过程。晶体膜厚监控法用于节造蒸发速度,在陆续大规模出产过程中,为了维持丈量精度,自动互换水屑的机造也是必要的。

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