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蒸发真空镀膜机技术要求
机关要求
1.设备结构布局合理 ，表形美观 ，操作方便 ，守护方便 。
2.设备中静动密封的结构大局和尺寸应切合GB/T6070和JB/T1090~1092的要求 。
3.在低真空、高真空管路和涂层室装置真空管路 ，别离丈量各部门的压力 。
4.若是设备的真空单元以扩散泵为主泵 ，则应在扩散泵的进气口装置挡板或冷阱 。
5.涂层室应有观察窗 。对于涂层过程中发生辐射的设备 ，观察窗应装置防辐射镜片 。
6.带工件烘烤装置的设备应有温度丈量电极或温度丈量装置 。
7.工件架旋转折构的转速应切合产品设计要求 。
8.配有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备应能在产品设计要求的参数领域内正常陆续不变工作30分钟以上 。
9.钨丝作为蒸发热源的加热器应能使蒸镀资料正常蒸发 ，蒸发过程中加热器的几何状态不应影响正常蒸发 。
10.设备蒸发源的工作前提应不变 ，易于调节和节造 。各类蒸发源(如电阻蒸发源、电子束蒸发源、离子束蒸发源、激光蒸发源、感应蒸发源等 。)的技术要求应切合相应的产品尺度 。
设备选取低电压、大电流电阻蒸发源时 ，各蒸发源加热器应处于4V~20V电压、50A~180A电流状态 。
出产要求
1.设备零件的机械加工质量和焊接零件的质量和组装质量应切合造作商的技术文件要求 。
2.设备镀膜室内表表及各密封面的粗糙度Ra值不得大于1.6um ，并对工作时处于真空状态的各个表表进行有效的真空洗濯处置 ，并进行干燥 。各旋转部件、起落机构等作为应矫捷 ，不得有卡、滞、松、抖、异响等景象 ，必要使用光滑脂的动密封部位应适量真空油 。
3.设备重要部件的资料应切合相应的资料尺度 。
4.配套设备的电气设备质量应切合造作商的技术文件要求 ，设备运行安全靠得住 。
5.设备的表观质量应无非职能性要求的尖角、棱角、凸起和粗糙不平坦的表表 。零件结合面边缘应整齐均匀 ，无显著误差 。金属零件的涂层应牢固 ，无脱落、生锈等景象 ，所有固体零件应有防锈层 。设备的涂装表表应光滑、美观、牢固、无脱落、剥落 。
6.设备中表采办的配套产品应切合相应的产品尺度 ，并有质量证书 。设备中自造的配套产品只能在造作商检验部门检验合格后使用 。
7.设备中的各类蒸发源、辅助离子源和离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、薄膜厚度监测等设备 。应逐一调试和结合调试 ，其机能应切合设计要求 ，运行靠得住 。当工件加热到额定温度时 ，真空室表表表温度不应高于45度 ，设备活动部件应正常工作 。
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