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电子束镀膜机加热道理及特点

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2021-05-21 10:45:41
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电子束镀膜机的加热蒸发源利用热阴极发射电子 ，在电场的作用下成为高能量密度的电子束 ，直接撞击镀层 。电子束的动能转化为热能 ，使镀层加热蒸发 ，实现蒸发镀层 。

电子束加热蒸发的利益:

1.电子束加热比电阻加热拥有更高的通量密度 ，能够蒸发W、Mo、Al2O3等高熔点资料 ，蒸发速度更高；

2.蒸发资料放入水冷铜坩埚中 ，可预防坩埚资料传染 ，造备高纯薄膜；

3.电子束蒸发颗粒动能大 ，有利于获得致密结合力好的膜层 。


电子束镀膜机特点


电子束加热蒸发的弊端:

1.结构复杂 ，设备价值昂贵；

2.若是蒸发源左近的蒸汽密度高 ，电子束流和蒸汽颗；嵯嗷プ饔 ，电子通量会迷失 ，导致轨路偏移；同时 ，蒸汽和残留气体的刺激和电离会影响膜质量 。

电子束加热蒸发源的大局 。

电子束蒸发源由电子枪和坩埚两部门组成 ，有时还附有供给资料的机械 。在好多情况下 ，产生和节造电子束的装置和坩埚设计成一体 。电子束加热蒸发源有以下结构大局

1.直线阴极和静电聚焦蒸发器 。

2.环形阴极和静电聚焦蒸发器 。

3.带轴向枪和静电远蒸发器 。

4.带轴向枪、磁聚焦、磁偏转90度的蒸发器 。

5.带横枪和磁偏转90度的蒸发器 。

6.带环形阴极、静电聚焦和静电偏转的蒸发器 。

7.E型电子枪蒸发器 ，E型电子束蒸发源发射的电子轨迹类似于e字 ，所以简称E型枪 。目前 ，这种蒸发源宽泛利用于真空蒸镀工艺 。


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